MENU
ホーム
HOME
コラム
column
ウェハ洗浄
エッチング
エピ成長
クリーンルーム
スパッタリング
ダイシング
モールディング
リソグラフィ
ワイヤーボンディング
材料
検査
お問い合わせ
contact
ホーム
HOME
コラム
column
ウェハ洗浄
エッチング
エピ成長
クリーンルーム
スパッタリング
ダイシング
モールディング
リソグラフィ
ワイヤーボンディング
材料
検査
お問い合わせ
contact
ホーム
HOME
コラム
column
ウェハ洗浄
エッチング
エピ成長
クリーンルーム
スパッタリング
ダイシング
モールディング
リソグラフィ
ワイヤーボンディング
材料
検査
お問い合わせ
contact
ホーム
モールディング
モールディング
– category –
モールディング
ドライエッチングの温度依存性を理解しよう!プロセスパラメータの最適化とは
ドライエッチングは、微細な回路やデバイスを製造する上で欠かせないプロセスです。しかし、その効率的な実施には温度の影響が大きく関わってきます。本記事では、ドライエッチングの温度依存性に焦点を当て、その理解と最適化について詳しく解説します。...
2024年5月18日
1
閉じる